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에프에스티에 대하여 본문
FST
FST는 Fine Semi Tech의 약자이다
FST의 주주로 삼성전자가 약 7%를 보유하고 있다. 최대주주보유량은 24%이다.
FST의 연혁
내부조직도
주요 계열회사
주요 사업
- 펠리클사업부
＊반도체 펠리클 - 반도체 제조 시 노광(Photolithography) 공정에서 포토마스크 (Photomask)를 이물질로부터 보호하기 위해 사용되는 부품.
＊ FPD 펠리클 - TFT-LCD, OLED 나 Color Filter기판의 제조시 마스크 위에 그려져 있는 패턴을 외부의 이물질로부터 보호하기 위해 사용되는 부품.
- TCU사업부
반도체, 디스플레이 공정에서 필요로 하는 챔버 내의 온도와 웨이퍼의 주변 온도를 일정하게 유지함으로써 공정효율을 개선하는 장비.
장비제품의 품질보증기간 경과 후의 수리 용역 등.
- 솔루션사업부
솔루션 사업부의 사업 영역은 미국, 유럽, 아시아의 다수의 반도체 부품회사들과 전략적 제휴를 통하여, 센서반도체, 전력전자반도체, LED 등을 관련 산업(휴대폰, FPD TV, FPD패널, 모니터, 셋톱박스, 가전제품, Computer, 통신 Network, 자동차 등)에 기술지원, 영업 및 마케팅을 주요 사업을 영위하고 있습니다.
- 종속회사 XIAN FST.CO.LTD, WUXI FST.CO.LTD, FINE SEMITECH USA CORPORATION은 칠러장비 품질보증 및 수리 용역을 주 사업으로 영위함에 따라 TCU 사업부와 포괄적으로 적용하여 기입하였습니다.
- 종속회사 (주)에스피텍은 2010년 3월 25일 설립되어 반도체 펠리클용 프레임 및 FPD 펠리클용 프레임 생산과 판매를 주요 사업으로 하고 있으며 축적된 ECC Coating 기술과 특수정밀가공 기술로 반도체 장비 부품 사업을 선도하고 있습니다. ArF용 ECC 프레임 (SO4, PO4 Free)을 세계 최초로 개발 및 양산에 성공 및 PID 고평탄 프레임 (2.55t) 양산 개발 완료, PDC 프레임, ECC 부품 등 세계적으로 유일한 독자기술을 확보한 기업입니다.
- 종속회사 (주)화인세라텍은 2020년 7월 21일 설립되어 반도체 장비에 들어가는 정밀 세라믹 부품 등 다양한 반도체 관련 부품을 제조, 판매하는 기업입니다.
- 종속회사 (주)에프엑스티는 2019년 8월 21일 설립되어 반도체 핵심공정에 들어가는 실리콘 카바이드 소재의 반도체 부품을 제조 및 연구개발하고 있습니다.
1. 펠리클
펠리클 : Photomask를 이물질로부터 보호하기 위해 사용되는 소재 <반도체펠리클> <디스플레이용 FPD 펠리클>
2. 칠러
Chiller : 반도체공정에서 과도한 열의 발생이 일어나는 장비 Chamber 內 Wafer 나 주변온도를 일정하게 유지함으로써 공정효율을 개선하는 장비
3. 기타 유통사업
글로벌 반도체, LED, Sensor 기업들과 전략적 파트너십을 통해 가전제품, Mobile, Display, Automotive, Security, IOT, Wearable Device 등에 Solution 및 기술지원을 제공
EUV FLOW
PELLICLE : Photomask를 이물질(Particle)로부터 보호하기 위해 사용되는 박막필름
EPODIS: EUV용 마스크 Case인 Dual Pod를 검사하는 장비
EPMD : 노광 공정 전 EUV Pellicle을 EUV Mask에 자동으로 탈/부착하는 자동화 설비
EPIS : EUV Pellicle의 Membrane과 Frame의 이물을 optical 방식으로 검사하는 장비
R&D 활동 EUV Pellicle
EUV Pellicle(400w~600w) 24년 양산목표로 연구개발 中
차세대 Frame 소재/구조 연구개발 中
국내 유일 Pellicle 제작 및 공급 中
Pellicle 제품 이해 및 다양한 고객 Needs 경험
Pellicle Eco Environment 구축
EUV Pellicle 평가 인프라 In-house 구축
EUVP 광학적 특성 평가 가능한 PTR 설비 “국내 유일” 보유
열-기계, 기계적, 수소 평가 통한 EUVP 안정성 및 Iifetime 평가 구축
In-house 평가를 통한 다양한 소재 연구 개발 가능
EUV Pellicle Assembly 및 제작 공정 확보 中
EUVP assembly 및 양산 가능한 “설비 자체제작” 및 제작 공정/라인 확보
고차 조화파
Laser를 이용하여 Coherence가 높은 EUV 파장 (13.5nm)의 광을 형성하며, EUV 검사 및 계측 설비의 광원으로 활용
* HHG source의 power 향상 및 Laser-produced Plasma (LPP) Source 연구개발 중
EUV Pellicle Mounter & Demounter (EPMD)
노광 공정 전 EUV Pellicle을 EUV Mask에 자동으로 탈/부착하는 자동화 설비
EUV Pellicle Inspection System(EPIS)
EUV Pellicle의 Membrane과 Frame의 이물질을 optical 방식으로 검사하는 장비
EUV Pod Inspection System(EPODIS)
EUV용 마스크 Case인 Dual Pod를 검사하는 장비
자회사
에스피텍
반도체 및 FPD 펠리클용 Frame 생산과 판매
(주)화인세라텍
세라믹 소재 기술을 이용해 프로브 카드용 다층세라믹기판 (MLC, Multi Layer Ceramic Substrate)을 개발 및 생산
㈜에프엑스티
- 반도체 장비용 CVD SiC Ring 생산 및 판매
(주)오로스테크놀로지
웨이퍼 측정. 웨이퍼 검사. 패키지측정. 패키지검사의 사업을 영위 주력인 OVERLAY 계측장비는 노광 공정 중 회로패턴 형성 및 적층 과정에서 수직 적층에 대한 정렬도와 오정렬을 측정 및 제어하는 장비
(주)이솔
Actinic EUV Mask 계측 및 검사 장비
- EUV 간섭 노광장비
- EUV Pellicle 투과율/반사율 측정 장비
재무상태표
손익계산서
재무제표 예상 손익
영업이익 및 이익률 매출액 대비 영업이익률 (총액기준)
순이익 및 순이익률 매출액 대비 순이익률 (총액기준)
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