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FST FST는 Fine Semi Tech의 약자이다 FST의 주주로 삼성전자가 약 7%를 보유하고 있다. 최대주주보유량은 24%이다. FST의 연혁 내부조직도 주요 계열회사 주요 사업 - 펠리클사업부 ＊반도체 펠리클 - 반도체 제조 시 노광(Photolithography) 공정에서 포토마스크 (Photomask)를 이물질로부터 보호하기 위해 사용되는 부품. ＊ FPD 펠리클 - TFT-LCD, OLED 나 Color Filter기판의 제조시 마스크 위에 그려져 있는 패턴을 외부의 이물질로부터 보호하기 위해 사용되는 부품. - TCU사업부 반도체, 디스플레이 공정에서 필요로 하는 챔버 내의 온도와 웨이퍼의 주변 온도를 일정하게 유지함으로써 공정효율을 개선하는 장비. 장비제품의 품질보증기간 경과 후의 수리..